電子元器件生產產生的廢氣怎么處理？

2022-08-16(971)次瀏覽

電子元件是電子工業的基礎，其產品-般包括電容器、電阻、電位器、電連接元件、控制元件，以及敏感元件和傳感器等，電子元件產品具有種類多、生產工藝差別大，生產線更新變化快的特點，加工工藝-般涉及機械、化工、熱加工或配制等多種工藝的組合。在電子元件制造車間環境中，工人長時間工作時大量VOC的排放對人體的身體造成了巨大的威脅。

1.行業VOCs排放特點

電子產品制造行業的VOCs排放濃度較高平均排放濃度在55mg/m3左右，收集或者處理程度比較低。目前存在的難題是：

(1)該行業的部分生產線變化性較大，而且更換周期不定。

(2)VOC排放濃度在各個工藝之間差異較大，這對VOC集中收集造成了不小的難度，對該行業VOC排放標準的制定也有很大影響。

2.行業VOCs治理技術

目前電子產品制造行業使用的有機廢氣治理技術主要包括活性碳吸附法、蓄熱式催化燃燒法。

(1)活性碳吸附法

在電子產品制造行業的電路板清洗過程中，大量的有機溶劑如異丙醇等在使用過程中揮發，通過超聲波清洗劑上方局部排風系統收集，目前通常采用固定床活性炭吸附裝置處理后排放。活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物的吸附能力較強，一般用來凈化較低濃度的三氯乙烯、二氯甲烷、四氯乙烯、四氯化碳、甲苯、二甲苯、丙酮、丁酮、乙酸、乙酯等。一般的處理工藝流程圖如下所示。

(2)蓄熱式催化燃燒法(RCO)

與蓄熱式燃燒法(RTO)不同，RCO催化燃燒所需的反應溫度更低(一般在500 oC下)，且不會產生NOx等二次污染物。催化燃燒法的關鍵是催化劑，按催化劑活性組分可分為貴金屬(Pt、Pd、Au等)和過渡金屬金屬氧化物(如Cr2O3、CuO、MnOx等)催化劑，覆蓋于載體表面。催化燃燒一般反應為:CxHy + O2 → CO2 + H2O + 熱量，(碳氫化合物，有害)→(無害)

RCO系統是在一定溫度下廢氣中VOC與催化劑作用發生催化氧化反應，去除效率可達99 %，采用蓄熱材質(如陶瓷)的催化室可大幅減少熱量的損耗。催化燃燒系統流程十分簡單，

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